拓荆科技:PEALD设备已实现产业化应用,ThermalALD目前根据客户指标进行验证测试

来源:览富财经网      作者:小览      发布时间:2022-08-04

摘要:览富财经网讯:拓荆科技于近日接受投资者调研时表示,公司PEALD设备可以覆盖逻辑芯片55-14nm SADP、STI工艺及存储领域,该产品已实现产业化应用;Thermal ALD

览富财经网讯:拓荆科技于近日接受投资者调研时表示,公司PEALD设备可以覆盖逻辑芯片55-14nm SADP、STI工艺及存储领域,该产品已实现产业化应用;Thermal ALD主要应用于28nm以下制程逻辑芯片,目前根据客户指标进行优化设计和验证测试。

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